压电阀
PV 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司.)
概要
它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。
通过金属封口方式实现了超低泄漏
不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制
技术规格
| PV-1000 |
|
| 流量量程 |
1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) |
| 流量控制范围 |
全标度的2?100% |
| 阀门方式 |
常开/关闭型 |
| 控制输入1 |
0?5VDC |
| 响应性 |
0.5秒以内 |
| 使用温度 |
0?50℃ |
| 使用压力 |
最大值.300kPa |
| 耐压 |
1MPa |
| 泄漏规格 |
5×10-12Pa?m3(He) |
| PV-2000 |
|
| 流量量程 |
10/20 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算) |
| 流量控制范围 |
全标度の2?100% |
| 阀门方式 |
常开/关闭型 |
| 控制输入1 |
0?5VDC |
| 响应性 |
0.5秒以内 |
| 使用温度 |
0?50℃ |
| 使用压力 |
最大值.300kPa |
| 耐压 |
1MPa |
| 泄漏规格 |
5×10-12Pa?m3(He) |
外形尺寸（单位：mm）
|
PV-1000 |
PV-2000 |
| A |
25.0±1 |
32.0±1 |
| B |
118.5±2 |
125.5±2 |
| C |
14.0 |
16.75 |
| D |
42.0 |
47.5 |
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