● 世界最高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米
●3D成像,高精度测量,Z轴最小读数精度0.01微米。
●实时像的获得和测量同时。
●408nm激光采用
激光扫描共焦显微镜OLS3000可进行如下检测: |
1)测量
2D测量:最佳测量范围1.5mm~1 μm; 不仅是线宽度,也能进行圆的直径等几何测量。
3D测量:最佳测量范围1mm~0.5 μm; 体积、容积、表面积等3D测量;可测量透明膜厚度。
粗糙度分析:最适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析; 不公是线粗糙度,面粗糙度也能检测。 |
2)3D形貌
能获得3D色彩等多种多样的信息
等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。 |
3)高分辨率观察
显示器倍率为14,400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高对比度的解像度。
可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉进一步提高分辨率。
实时观察。
最大观察范围是2,560X2,560μm |
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