?把放大器(驱动电路) 内藏在检出部里,廉价小型轻便。
?比高价的静电电位监视系统制造方便,而且价格便宜。
?开关能改变测量范围、可以测量从低到高较大范围的电位。
?装有检出传感器故障表示LED、并能输出到外部。
KS-2100的规格
表示部
型式
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KS-2100
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检出方式
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振荡型表面电位传感器
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测量范围
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有效距离① ±1~±2000V
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有效距离② ±0.01~±20.00kV
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模拟输出
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0~±5V
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测量精度
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±10%以内
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测量基准距离
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有效距离① 10mm
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有效距离② 50mm
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警报
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查出传感器故障LED表示,外部输出
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电源
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DC12~24V±5%
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环境
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温度0~40℃、湿度65%RH以下(没有结露)
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质量
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约100g(不含电缆)
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付属品
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专用电缆5M(最大到100m为止)
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用途
?在显影平面的生产工序的带电量监视。
?半导体芯片带电量监视。
LSI的处理中及印刷电路板搬送中来监视带电量。
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