一、KOFLOC 低成本金属密封质量流控制器5400系列产品介绍：
MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计(以下简称TME)是利用传热原理，即流动中的流体与热源(流体中加热的物体或测量管外加热体)之间热量交换关系来测量流量的仪表。
型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤±1%，反应时间≤±1/秒，基本性能适用于半导体过程控制，实现了划时代的低成本。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。
二、KOFLOC 低成本金属密封质量流控制器5400系列产品特点：
1、通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应
2、常闭电磁阀
3、无焊接构造，金属密封确保低的泄露
4、采用膈膜阀减少了死区
5、间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控
制器兼容
三、KOFLOC 低成本金属密封质量流控制器5400系列产品参数：
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流量F.S. (N2换算) |
10SCCM-20SLM |
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阀门方式* |
常闭电磁隔膜阀 |
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控制范围* |
2-100%F.S. |
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应答性* |
0-100%F.S.1秒以下(设置点±2%、典型以下) |
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QS附件适用时0-100%∽0-20%反应1秒以下 |
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精度 |
±1.0%F.S.以20°C |
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线性 |
±0.5%F.S.以内@20°C |
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重复性 |
±0.2%F.S.以内@20°C |
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工作差压* |
F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa
LP(低差压)标准根据气体、流量而不同 |
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5<F.S.≤20SLM 98kPa-294kPa |
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耐压 |
980kPa |
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泄漏范围 |
1×10-11Pa?m3/s 以内 |
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使用温度 |
0°C-50°C(精度保证：15-35°C) |
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接触介质的材料 |
外壳：SUS316L |
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隔膜：Ni-Co |
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阀座：PTFE |
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密封材料：Ni，SUS316L |
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接头 |
1/4UJR |
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电气连接 |
Dusb 9-pin KFC标准(SEMI标准) |
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输入流量信号 |
0-5VDC |
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输出流量信号 |
0-5VDC |
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需求电源供给 |
5400:+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA |
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5410:+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)100mA |
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重量 |
1000g |
* 带*部分只适用于质量流量控制器型号5400
因为汇率经常变动，以上产品价格只做参考！不做下单依据！请见谅！谢谢合作！
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